XYZ模块化变温探针台 HCP421V-MPS

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HCS350G-TNS拉伸冷热台

HCP421V-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化

功能特点：

·mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备

·可编程控温，涵盖-190℃~400℃

·适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件

·可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

·独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,

·模块化设计，可自由组合

·可升级为8个独立探针

·可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

·SMA接头转BNC四探针，手动点针

·可选三同轴接口，用于pA级测试

沪ICP备13022329号-3

电学参数

探针	默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针
探针座	可从外部XYZ移动的探针臂
点针	从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口	默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线）
样品台面电位	默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

结构参数

适用样品	26 mm 直径（标准）
样品腔高	4/8 mm （可选）
探针座	可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，XY粗调20mm XY微调行程10mm,Z微调 3mm
调节精度	10um
气氛控制	真空腔，也可充入保护气体
外壳冷却	可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
台体尺寸/重量	300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg